SOI片相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

SOI片相关论文

基于SOI技术的MEMS超声分离器制备方法研究

基于简正模式的MEMS超声分离器对分离腔的侧壁垂直度、深度均匀性以及表面平整度等要求较高,结合IC工艺重点探讨、研究了超声分离......

期刊

干法刻蚀 SOI片 MEMS超声分离器侧壁垂直度 IC工艺

基于SOI硅磁敏三极管差分结构集成化研究

本文通过分析平面结构硅磁敏三极管基本结构、工作原理和特性,给出集成化SOI硅磁敏三极管差分结构,该集成化结构由两个具有相反磁......

学位

集成化磁敏三极管差分结构 SOI片磁灵敏度温度系数

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