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利用表面改型Si衬底制备氧化物薄膜及生长机制研究
本文利用化学湿法各向异性刻蚀技术对单晶Si(100)衬底进行表面改型处理;利用化学法—液相沉积技术以及物理法—射频磁控溅射技术在......
学位
单晶Si(100)
“V”型沟槽
各向异性刻蚀
液相沉积
射频磁控溅射
STO过渡层
超导
溶胶-凝胶旋涂
Bi-2212膜
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