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Si—N—O薄膜相关论文
Si—N—O薄膜结构对薄膜血液相容性的影响
采用非平衡磁控溅射(UBMS450)法在(100)单晶硅表面制备Si-N—O薄膜。利用X射线光电子能谱(XPS)表征薄膜的成分结构;用血小板粘附试验表征......
期刊
Si—N—O薄膜
血液相容性
磁控溅射
Si-N-O film hemocompatibility magnetron sputtering
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