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摘 要：改良西门子法生产多晶硅的过程中，尾气中除副产物SiCl4外，还有SiHCl3、HCl、H2和SiH2Cl2。若不有效处理，它们会对环境造成严重污......
改良西门子法生产多晶硅的过程中，尾气中除副产物sicl4外，还有siHcl3、Hcl、H2和siH2CI2。若不有效处理，它们会对环境造成严重污染。......
