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SiNx钝化膜厚度相关论文
SiNx钝化膜厚度对pHEMT的性能影响
深入地研究了SiNx钝化膜厚度对AlGaAs/InGaAs/GaAs pHEMT电性能的影响,实验结果表明,pHEMT器件的截止频率随着氮化硅钝化膜厚度的增加而下降;妆膜厚超过200nm时,将影响pHEMT器件电......
期刊
pHYEMT
SiNx钝化膜厚度
电性能
晶体管
AlGaAs/InGaAs/GaAs
Silicon nitride passivation
High E
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