利用射频等离子体增强化学气相沉积法制备了在太阳电池中用作表面钝化和减反层的SiN_x:H薄膜。制备的折射系数分布在1.72～2.55范围......

多晶硅太阳电池以其价格低廉的优势成为低成本太阳电池的首选,但其光电转换效率提升空间有限。钝化发射极和背面电池(PERC)技术是......

利用Centrotherm公司生产的管式等离子增强化学气相沉积（PECVD）设备在p型抛光硅片表面沉积SiNx：H薄膜,研究沉积温度对SiNx：H薄膜的组成......