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SiO_2/Si界面相关论文
SiO_2/Si表面电子谱的因子分析法研究
用因子分析法在扫描俄歇微探针(SAM)上研究了SiO2/Si的俄歇深度剖面分析。采用Ar+离子刻蚀SiO2/Si样品,分别采录具有高表面灵敏度和化学......
期刊
离子刻蚀
俄歇跃迁
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SiO_2/Si界面
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SiO_2/Si
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深度剖析
SiOx
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