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Sibasedn-GaN相关论文
二次退火对Al/Ti/n—GaN/Si欧姆接触的影响
采用热壁外延的方法在硅衬底上生长出n-GaN晶体,制成了Ti/Al双层电极的欧姆接触.通过对不同退火条件下的I-V特性曲线、X射线衍射及......
期刊
二次退火
Al/Ti/n-GaN/Si
欧姆接触
氮化镓
界面固相反应
ohmic contact
Sibasedn-GaN
secondary anneali
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