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六角晶格多孔Si纳米阵列的制备研究
采用AAO模板7LAr+磨技术在Si基片上合成了大面积规则的六角纳米孔阵列,阵列六角晶格尺寸及纳米孔深度可由H3PO4扩孔时间、氧化电压、......
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六角晶格
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