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聚苯乙烯纳米球模板和Si衬底的微结构随离子束轰击时间的演变规律
使用离子束正入射轰击Si衬底上有序密排的聚苯乙烯(PS)纳米球模板,通过分析PS纳米球和Si衬底的微结构与离子束轰击时间的关系,研究......
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离子束刻蚀
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SI纳米线
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ion beam etchingnanosphere lithographyordered array
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