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支链嵌套并联机器人运动控制系统的设计及末端残余振动的主动抑制
随着信息化程度的不断加深,高速度高精度硅片传输机器人已经成为集成电路制造装备的核心组成部分。本文研究的三自由度支链嵌套并......
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