Ta)N三元薄膜相关硕士博士期刊学术论文

在用真空阴极弧制备TiN和TaN两种薄膜的基础上,采用两个独立的金属弧源同时放电的方法成功制备出（Ti,Ta）N三元薄膜。通过X射线衍射、......