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Ti-C-N相关论文
脉冲直流PCVD制备Ti-C-N和Ti-Si-N薄膜的实验研究
目前人们研究这两种薄膜多采用直流或射频PCVD技术,并且设备多为实验室水平,在研究成果与实际应用之间还存在很大差距;对膜层的研......
学位
等离子体增强化学气相沉积
Ti-C-N
Ti-Si-N
显微组织
晶体结构
结合强度
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