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直流等离子化学气相沉积TiC,TiC/TiN和弥散型Ti(CN)
用直流PCVD(等离子化学气相沉积)法沉积TiC、TiC/TiN双层复合膜和弥散型Ti(CN)涂层。试验表明在反应温度为550~600℃下得到的这些涂......
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TiC
TiC/TiN
等离子化学
气相沉积
CN
弥散型
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显微硬度
双层膜
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