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TiCgasdepositionXPSXRD相关论文
不同沉积气体对多弧法制备TiC膜的影响
采用两种不同的沉积气体CH4 和C2 H2 分别在SUS3 0 4不锈钢基片上用多弧离子法沉积TiC硬质膜。XPS结果表明 ,用C2 H2 作为沉积气体......
期刊
磷化钛薄膜
沉积气体
制备
多弧法
TiCgasdepositionXPSXRD
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