TiNiCu薄膜相关论文
近年来,微型化、智能化、集成化且成本经济的微机电系统受到广泛关注。TiNi基形状记忆合金薄膜具有良好的形状记忆效应、超弹性、......
采用镶嵌靶、通过直流磁控溅射法在不加热的情况下于硅基片上制备了Ti-49.57%Ni-5.6%Cu合金薄膜。XRD图谱表明,该薄膜为非晶态。对其进......
本文采用射频磁控溅射法制备了TiNiCu形状记忆合金薄膜,并对溅射功率和溅射压强对薄膜表面形貌的影响进行了较为系统地分析,优化了溅......