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利用磁控溅射的方法在单晶S i和非晶S iO2基片上制备了TiN i和TiN iCu形状记忆合金薄膜,并利用示差扫描量热法和基片曲率法研究了......
使用射频磁控溅射法，在Si片上沉积了TiNi形状记忆合金薄膜，分别采用能谱色散光谱仪（EDS）和差示扫描热量分析（DSC）方法测试了薄膜的成分和......
