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U形悬臂梁相关论文
基于MEMS技术U形悬臂梁制作工艺研究及特性模拟
针对在〈100〉硅片上采用EPW各向异性腐蚀液制作U形悬臂梁工艺进行研究。因各向异性腐蚀使(111)侧面相交的凸角处出现一些腐蚀速率......
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