EPW腐蚀液相关论文
研究了（100）单晶硅在EPW腐蚀液中制作近似圆形硅膜，在EPW腐蚀液中因（100）单晶硅腐蚀速率各向异性，在圆形掩膜下很难实现圆形单晶硅膜．基于......
针对在〈100〉硅片上采用EPW各向异性腐蚀液制作U形悬臂梁工艺进行研究。因各向异性腐蚀使(111)侧面相交的凸角处出现一些腐蚀速率......
基于气体直接吸收机理、微机械技术实现的气动红外探测器是对中远波段实现室温探测的新型红外探测器。该探测器的关键结构———微......
