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超大规模集成电路多孔电介质介电常数与分形维数
技术的发展要求超大规模集成电路的特征尺寸进一步降低以提高元件密度,这就需要低介电常数(k)的多孔电介质的应用。而多孔介质的输运......
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超大规模集成电路(ultra
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