UV—LIGA技术在制备多层复杂微结构时存在如何确保多层套刻对准精度，尺寸控制精度及层间良好结合的问题。该文对这些问题进行了分析......

针对微拉伸测试系统支撑梁因塑性变形带来的误差，采用UV—LIGA技术制备出S型支撑弹簧来代替刚性梁，这样即可测量大变形薄膜的力学性......

把柔性机构的设计方法——伪刚体法应用于柔性微夹钳的设计中，得到一种新结构形式的电热微夹钳，用UV—LIGA方法进行加工制作，并进行动......

UV—LIGA技术是MEMS微细加工中一种非常重要的技术。结合厚胶工艺，可以利用金属电镀的方法制作出各种金属MEMS结构。UV—LIGA技术一......

在众多影响UV-LIGA（Ultra-violet lithography Galvanik abformung）技术制备微细金属零件尺寸精度的因素中，SU-8胶溶胀性是最主要的。......

基于微纳米加工技术，设计一种可降解的植入式药物控释微载体，介绍利用紫外光刻（UV—LIGA）技术制备该类微载体的工艺。用聚羟基丙酸乙酸......

提出一种用于检测微位移的新型电涡流传感器。该传感器中，两层微平面线圈叠加在坡莫合金铁芯上，分别作为驱动元件与敏感元件。详细给......

研究了微流控芯片中大线距/线宽比条件下的UV-LIGA制作工艺。针对微电铸的要求,优化了大面积SU8曝光的工艺;通过计算机模拟分析和......

试验研究了UV-LIGA各工艺环节（包括前后烘、曝光、显影、去胶、电铸等）对金属基片上制造金属微结构器件质量的影响，并组合优化了操作......

对探针的制作方法、关键工艺环节等进行了分析与研究，给出了基于UV-LIGA技术制备微型柔性镍接触探针的工艺过程，分析了制备的技术关......

考察了over-plating工艺中不同线距、线宽条件下的电沉积规律。利用数值模拟方法对图形结构轮廓和电沉积速度之间的相互影响进行了......

利用基于SU-8光刻胶的UV—LIGA技术加工微细金结构。针对所沉积的微结构出现凹形的现象，建立了加工过程的电场数学模型，利用有限元方......