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真空蒸发CVD法研制超微粒SnO2薄膜
用真空反应蒸发,在玻璃、陶瓷及Si-SiO2衬底上获得晶粒线度为90至0.2μm的超微粒SnO2薄膜,对薄膜的结构、形貌及其电学性质和光学......
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超微粒
真空蒸发
CVD法
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