本文就甚高频（ＶＨＦ）带材料处理考虑了射频（ｒｆ）发生器和等离子体之间阻抗匹配的方法，与在低频例如１３．５６ＭＨｚ情况下的传统方法不同，在这种方法中，采用一根传......