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炉内气氛对共烧W-Al_2O_3多层衬底的影响
含有W导体线条的氧化铝多层陶瓷衬底是在H_2、N_2和水蒸汽中烧成的,而且炉内的H_2和H_2O的含量是变化的。验证了每种气氛对烧结的A......
期刊
W-Al_2O_3
多层陶瓷
气孔率
烧结气氛
管壳
金属化
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物理性能
烧结温度
无引线芯片载体
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