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W-Ti-N薄膜相关论文
磁控溅射W1-xTixN薄膜的结构与摩擦学性能研究
采用双靶反应磁控溅射的方法,通过改变基体相对于靶材的位置制备了一系列不同化学成分的W1-xTixN薄膜。用X射线衍射仪,扫描电子显......
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W-Ti-N薄膜
反应磁控溅射
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W-Ti-N薄膜的制备及其热稳定性
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