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WS_(2)薄膜相关论文
磁控溅射不同元素掺杂WS_(2)薄膜的组织和纳米压痕力学性能
采用磁控溅射法在不同沉积压力(0.8,1.2Pa)下分别制备WS_(2)薄膜、Ti/WS_(2)复合薄膜和La-Ti/WS_(2)复合薄膜,研究了薄膜的组织结......
期刊
磁控溅射
WS_(2)薄膜
镧掺杂
晶粒尺寸
纳米压痕力学性能
magnetron sputtering
WS_(2)film
lanthanum doping
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