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Wavelet-Galerkin法相关论文
基于Wavelet-Galerkin法的微机械谐振器件挤压膜阻尼求解方法研究
本论文主要研究微电子机械系统(MEMS)中空气挤压膜阻尼效应对微谐振器件的影响。微电子机械技术在过去的二十多年里发展非常迅速,出......
学位
微机械谐振器件
微电子机械系统
挤压膜阻尼
Wavelet-Galerkin法
Daubechies小波
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