X射线干涉光刻相关论文
表面增强拉曼散射(Surface-enhanced Raman Scatting,SERS)是一种非常重要的化合物分析技术,在光谱分析、生物传感等领域有着广泛......
介绍了上海光源X射线干涉光刻（XIL）光束线的基本情况.为实现光束线的光束偏转和光路切换,完成了其偏转镜系统的研制.分析了偏转镜系......
为了保证上海光源X射线干涉光刻光束线的稳定性,减小热变形对实验结果的影响,对X射线干涉光刻光束线的3个关键光学元件——偏转镜......
