ZAO膜相关论文
采用锌铝(2％)合金靶,保持真空腔在50℃低温下,运用直流反应磁控溅射法制得系列的ZnO∶Al(ZAO)薄膜.通过X射线衍射(XRD)、扫描电子显......
采用直流磁控溅射ZAO陶瓷靶的工艺，在玻璃衬底上成功地镀刺了ZAO透明半导体膜，获得了电阻率6×10^-4Ωcm和可见光透过率85％以上的......
本文在对ZAO膜与ITO膜性能比较的基础上,综述了ZAO膜的应用前景、国内外研究现状和制备技术,给出了用直流反应磁控溅射法制备ZAO膜......
在玻璃衬底上用直流磁控溅射的方法镀制ZAO透明导电膜，研究了温度、氧压比、溅射气压、溅射速率等工艺条件对ZAO膜电阻率和可见光透......
