ZYGO干涉仪相关论文
随着科技的进步,现代干涉测量技术具有量程大、精度高、分辨率高以及操作方便等优点,在各项领域得到了广泛的应用。根据ZYGO干涉......
为实现用小口径面形干涉仪完成对大口径光学镜面面形的检测,发展了斜入射检测方法,增大投射到待测镜上光斑的尺寸,从而增大干涉仪......
为了验证相位恢复波前传感器的性能,搭建了相位恢复传感器和Zygo干涉仪对不同波前畸变进行比较测量的实验平台。采用液晶空间光调制......
为适应未来遥感光学系统研究的需要,研制了一套低温真空实验装置。该实验装置包括低温真空腔体、真空抽气系统、ZYGO干涉仪和防震......
提出了一种接触式轮廓仪测量非球面参数的新方法,该方法通过在传统的二维接触式轮廓仪基础上增加旋转,从而实现了三维测量。为了验证......
为解决高精度检测非球面反射镜的难题,提出利用Zygo干涉仪完成非球面环形子孔径检测。通过移动待测非球面,使得由干涉仪产生的参考......
提出了一种亚角秒精度的转角测量方法。利用ZYGO数字干涉仪测量压电陶瓷转动平台驱动待测标准平面镜偏转前后镜子面形精度的PV(Peak......
基于等效应力法分析了温度变化对反射镜面形准确度的影响.对反射镜粘接处施加一定量的径向强迫位移约束,使其受到与热应力大小一致......
该文介绍了LCOS的基本结构和光波调制原理,当光波的偏振方向与液晶分子的光轴相一致时,LCOS处于纯相位调制模式。介绍了Zygo干涉仪......
提出了一种用朗奇法定量检测大口径非球面的新技术。主要以大口径非球面镜的加工表面为研究对象,设计了大口径非球面检测系统,该系......
以往检测衍射光栅波前时,需自行搭建检测光路,且搭建过程中由于元件较多,造成系统精度难以保证,得到的测量结果不够理想。针对这些......
现代X射线掠入射成像式望远镜是由大量的圆柱面超薄玻璃镜面经压制成圆锥面组成的准Wolter-I型望远镜。为了完成超薄玻璃圆柱面的......
为了得到效果更佳的朗奇图像,提出了一种运用小波分析来处理大口径非球面镜图像的方法选取半通光口径为300mm,的大口径非球面进行了......