采用射频磁控溅射法在石英玻璃基片上制备出ZnO：Al薄膜,并对薄膜在不同O2/Ar比状态下的沉积厚度、结晶性能和导电性能之间的关系进......

讨论了采用磁控溅射镀膜工艺在玻璃衬底上制作AZO透明导电薄膜的工艺方法。分析了AZO透明导电膜产品的质量指标,介绍了磁控溅射镀......

采用射频磁控溅射技术,在康宁玻璃衬底上制备了从0.12Pa到1.0Pa共计5个不同溅射气压系列的ZnO:Al(AZO)薄膜样品,通过紫外-可见光谱......

采用溶胶-凝胶法制备了ZnO：Al（AZO）透明导电薄膜．通过X射线衍射（XRD）、紫外-可见分光光度计（UV-Vis）、扫描电镜（SEM）和电阻测量装置，考察了Al......