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Zr-Co-Ce相关论文
Zr基吸气剂薄膜的制备与性能研究
吸气剂是一种通过物理和化学作用吸收活性气体来维持和提升电真空器件的真空品质的特殊功能材料。随着电真空器件的微型化与集成化......
学位
吸气剂薄膜
直流磁控溅射
Zr-Co-Ce
吸气性能
激活机理
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