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ZrBN复合膜相关论文
B靶功率对ZrBN复合膜的微结构、力学性能及摩擦性能的影响
采用磁控溅射法,以不同的B靶功率(分别为24,30,60,90和120 W),在单晶硅(100)和不锈钢基底上制备一系列不同B含量的ZrBN复合膜,利用扫描电镜、......
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ZrBN复合膜
微结构
力学性能
摩擦性能
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