a-C∶H薄膜相关论文
采用间接织构法制备了织构化a-C∶H薄膜.研究了其在高真空环境下的摩擦学性能，并系统考察了凹槽间距对高真空环境下织构化a-C∶H薄......
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为研究气体流量比对非平衡磁控溅射沉积含氢类金刚石薄膜（Diamond-Like Carbon,DLC）沉积速率及性能的影响,在不同Ar/CH4流量比条件下......
