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MWECR CVD系统中磁场梯度对a-Si:H薄膜沉积速率的影响
为了定量地得到磁场梯度对a-Si:H薄膜沉积速率的影响,对单磁场线圈分散场MwECRCVD系统等离子体室和沉积室中用三种方法得到的磁场形......
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磁场梯度
洛伦兹拟合
A-SI:H薄膜
沉积速率
MwECR
CVD沉积系统
magnetic field gradient
Lorentz fit
a-Si∶
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