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c面氮化镓相关论文
抛光液组分对c面(0001)氮化镓CMP性能的影响研究
氮化镓(GaN)因其良好的物理性质和化学特性,被广泛应用在微电子和光电子器件中,是现今集成电路产业中至关重要的第三代半导体材料。......
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c面氮化镓
化学机械抛光
抛光液
氧化剂
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