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面向MEMS红外光源的高辐射率纳米硅结构制备
通过制备面向MEMS红外光源的高辐射率多晶硅纳米柱状结构和单晶硅纳米孔结构,以提升红外源表面辐射率,降低器件功耗。制备方法分别......
期刊
MEMS infrared source
nano-scale silicon structure
high-emissivity
aluminum mask
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