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直流磁控溅射铂电阻薄膜
根据薄膜理论和通过成膜工艺实验,研究了影响铂薄膜电阻温度系数的主要因素。1)对铂靶材料的纯度要求高,含杂持极少;2)淀积薄膜要有一定厚......
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