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含碘鎓盐光产酸剂和增感染料的化学增幅型i-线正性光致抗蚀剂
4,4′-二甲苯基三氟甲磺酸碘鎓盐可以被染料增感,在365nm光照时分解产酸.尽管产生的酸与染料的胺基发生作用,依然能在后烘过程中催......
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