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硅KOH腐蚀〈100〉晶向凸角补偿技术及应用
在(100)硅上制作边沿<100>晶向的长方形掩模,用KOH各向异性腐蚀液腐蚀可制得竖直微镜,这种微镜存在凸角削角问题。研究了边沿<100>晶......
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各向异性腐蚀
削角补偿
微镜
微机械加工
anisotropic etching
corner cutting compensation
micro-mir
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