微机械加工相关论文
故障诊断与安全监测对微加速度传感器提出了迫切需求,然而,目前在市面上主要以高精度、低量程产品为主,产品量程和部分性能不能有......
作为新兴的表面改性技术,表面织构化可以有效减少摩擦,在摩擦表面应用较为广泛.本文介绍了0Crl7Ni7Al表面织构微机械加工技术,研究......
传统的斜管水压计,补偿式微压计已越来越不适应微压测试与计量技术发展的要求。作者用微机械加工技术及最新的应力集中设计地交接计......
随着MEMS(微电子机械系统)技术的发展,与之相关的微能源技术也日益受到重视.MEMS一方面是指运用微电子加工技术和微机械加工技术在......
牺牲层工艺是通过腐蚀或刻蚀牺牲层来制造悬空的梁、膜或空腔结构的技术,广泛应用于MEMS器件与其读出电路的单片集成。可以作为牺牲......
本文提出了一种以玻璃为衬底的单晶硅体微机械加工梳状电容式加速度传感器结构,器件梳状叉指刻蚀采用单晶硅DRIE技术,可大大增加器......
从聚晶金刚石(PCD)的物理性质出发,分析了其微细电火花加工的性能。通过聚晶金刚石(PCD)微细电火花加工工艺试验,研究了加工极性、电......
本文介绍了一种应用微机械加工技术制作的新型微带传输线以及用它所实现的高性能滤波器.与传统微带传输线不同,该传输线采用LIGA工......
介绍了立体微细光刻技术研究的意义、发展趋势、工作原理和基本实现方法,旨在促进此项高新技术的应用发展.
This paper introduces ......
本文扼要介绍了一种崭露头角的微电子机械系统(MEMS)的应用前景,以及它的最新工艺技术。并预示在推进MEMS工艺的前提下,MEMS产品将大有作为。
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在同一介质上,应用集成电路微细加工技术制作出尺寸在微米范畴的微机械部件,微传感器,微传动装置并将它们与微电子线路在一起形成高性......
本文报道了一种由<110>条组成的,用于(100)硅KOH各向异性腐蚀的凸角补偿图形.该图形的设计特点是利用不对称的分枝和端点弯头对条上腐蚀前沿实现控......
日本东北大学奔奇实业研究所简介东北大学奔奇实业研究所(见图1、图2)是根据日本政府1996年补充预算设立的“以大学院(研究生院)为中心推进独......
KOH碱性蚀液的PN结自致蚀停电化学腐蚀技术是制备硅三维微结构的基本方法之一。本文详细研究了它在90℃的PN结自致蚀停的基本特性,......
本文概速衍射光学、微光学及其在红外成象系统中的应用。这篇技术综述介绍几种制备方法,重点放在金刚石机械加工对红外系统和材料......
通过分析硅的结晶学特性及实验考察硅各向异性腐蚀的择优腐蚀面和削角线,研究了尖角与方角的掩模补偿方案,提取了削角因子,并且给出了......
麻省理工学院开发出一系列高功率二极管泵浦被动Q开关微芯片激光器。其中一种器件在10W功率泵浦时产生600mW平均功率,另一种以15W泵浦,产生380ps、250μJ能......
一、微型光-电-机械装置1.微型光-电-机械(MOEM)自适应光学 系统(特邀文章,R.L.Clark等,美国SY 技术公司)2.与位置敏感探测器集成......
美国洛克韦尔电-光中心(REOC,现称为波音北美电光中心)于1995年12月提供非致冷红外焦平面列阵产品。这种非致冷型焦平面列阵突破......
光子学革命将彻底改变人类在21世纪的生活。这是千真万确的事实,人类将完全工作在光学和光子学的环境之中。
Photonics revolutio......
美国新罕布尔州的J.P.Sercel Associ-ates公司生产的IX—300微机械加工系统包括准分子激光器,平均功率为25W,脉冲重复频率为500Hz......
重点介绍了在微机械加工中碰到的带图形硅片键合工艺,测量了不同表面处理和不同退火条件下的表面能,估算了封闭腔内的剩余压力和腔体......
微型磁发射线圈/接收线圈-放在通常半导体芯片上-可以提高数据传送速度,抑制瞬变信号,维持信号的保真度,并改进数字信号的隔离状况......
微机械数模转换器是一种用数字信号精确控制微执行器输出量的新方法 ,本文介绍了微机械数模转换器的概念 ,分析了“C- 2 C梯型网络......
电子业界一向以积极追求制造无活动部件产品著称。对于电子业界来说,在电路板和IC芯片上安装依赖活动部件的微小型装置,似乎是反常......
采用0.5μm标准CMOS工艺和微机械加工工艺,设计并制作了低成本双层非制冷热敏电阻型红外探测器。探测器采用隐藏桥腿式微桥结构,使......
一、主要技术内容rn智能变送器用压力、差压传感器是工业自动化控制系统DCS、FCS必不可少的组成部分.该所采用微机械加工工艺技术......
微机械加工(Micro-Electro Mechanical System,MEMS)工艺中常需要应用到低应力氮化硅作为结构层或钝化层材料,以降低圆片的翘曲。......
针对故障诊断与安全监测的应用需求,设计了一种大量程、体积小、高谐振频率的蝶翼式振动加速度传感器。通过COMSOL有限元分析(FEA)......
即将过去的20世纪,是一个科学技术以空前速度发展的世纪。动态的、实时的研究将是21世纪的科学发展的一个重点。20世纪的科学发展......
在自由式微结构如束、振动膜和过载传感器的制造过程中,经常遇到的一个难题是分离开粘连在衬底上的微结构。这种现象出现在牺牲腐蚀......
机械作为人手的延伸,伴随人类渡过了漫长的历程。自18世纪,科学给它安上蒸汽的强大动力之后,引起了一系列工业化革命,推动了社会......
叙述一种新型微机械伺服加速度计,并与电磁式及变电容式线加速度计原理、性能特点进行比较。微机械伺服加速度计测量上限可达±500m/s2,且能......
美国 Ti Ni Alloy Co.报道 ,在 Missile DefenceAgence的基金资助下 ,已在抛光的硅底层上沉积了一层 Ni- Ti(Nitinol)形状记忆合金......
在分析了当前制作微机电系统的几种技术的基础上 ,采用自由度较大的、制作复杂结构能力较强的光造型 (SL )技术。研究过程中在以下......
在不久的将来,小型、轻便、廉价的微机电系统(MEMS)将成为军用设备中的普通装置。微机电系统的尺寸小,其特点是把机械或结构元件(......
表面微机械加工是一种使机械部件微型化的工艺。传感器和致动器都是利用改进的集成电路制造技术来完成的。第一个表面微机械器件是......
叙述了硅基传感器微机械加工的特点和要求,简要说明了硅衬底微细加工的常用方法。并以高过载双向压力传感器和悬空结构热释电传感器......
本文介绍了一种具有静电自锁功能的微机械加速度开关的原理,并且做了相应的理论分析。
This paper introduces the principle of a......
随着计算机集成技术和微机电系统 (MEMS)的迅速发展 ,微细塑性成形技术作为一种微细加工技术正在发挥着越来越重要的作用。与传统......
一种可在极宽温区(-40℃至250℃)工作,并重复性和再生产性在全程范围好于±0.1%的高精度压阻式压力传感器研制成功.该芯片的制作基......