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多重空心阴极溅射靶及其应用
研制了一种由多个空极并列组合而成的可直接作为溅射靶的多重空心阴极溅射靶。其溅射输出量可用靶电压、气压及空心阴极的高度和宽......
期刊
多重空心阴极
溅射
镀膜
合金化
溅射靶
multiplehollowcathode
sputtering
coating
alloying
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