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p-c-BN薄膜相关论文
p-C-BN/p-Si薄膜同型异质结的电学特性
用射频溅射系统制备了c-BN薄膜,并且用离子注入的方法在c-BN薄膜中注入Be,制备了p-c-BN/pSi薄膜同型异质结,并研究了异质结的电学......
会议
p-c-BN薄膜
同型异质结
离子注入
掺杂浓度
射频溅射
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