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GaAs太阳电池帽层腐蚀研究——GaAs/AlGaAs薄膜体系的选择性腐蚀
由p^+-GaAs帽层和p-AlxGa1-xAs(x=0·8=0.9)窗口层构成的异质薄膜体系是GaAs太阳电池器件中的常规结构。对该异质结构的只腐蚀GaAs而不腐蚀AlGaAs的选择性腐蚀工艺是GaAs太阳电池......
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太阳电池
帽层
窗口层
选择性腐蚀
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