该文提出一种柔性的微机电系统(MEMS)超声波器件。该器件由下电极、ZnO薄膜、上电极及聚酰亚胺柔性基底构成。其制作过程简单,采用......

为满足目前对水下金属、蛙人等检测的应用需要,设计一种用于水下金属探测成像的压电式微机械超声换能器。在该结构中,在顶部电极和......

压电微机械超声换能器(Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer,简称PMUT)是基于微机电系统(Micro-Electro-Mechanica......

光声成像技术已成为人们研究的一个热点,它在生物医学影像领域的应用体现出很多突出的优点。它利用特定波长的短脉冲激光照射生物......