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磁悬浮纳米级步进扫描工作台CAD/CAE设计研究
采用CAD/CAE技术手段设计了一种新型磁悬浮超精密工作台 ,它是针对微电子行业IC芯片制造设备如光刻机而研制的快速步进、精密定位......
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