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提出了一种新的电容式压力传感器,传感器结构为由Al/SiO2/n-typeSi等三层方形膜构成的固态电容.传感器采用pn结自停止腐蚀和粘结剂......
提出了一种新的电容式压力传感器,传感器结构为由Al/SiO2/n—type Si等三层方形膜构成的固态电容.传感器采用pn结自停止腐蚀和粘结剂键......