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用于自对准Si MMIC的等平面深槽隔离工艺
研究了在自对准硅MMIC中等平面深槽隔离工艺的实现.该工艺包括如下过程:首先应用各向异性刻蚀的Bosch工艺刻蚀出用于隔离埋集电极......
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deep trench isolation
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