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u)Si_vGe相关论文
Ni_uPt_(1-u)Si_vGe_(1-v)/Si_(0.72)Ge_(0.28)界面形貌的改善
针对锗硅在形成金属锗硅化物时存在部分应力释放、界面形貌特性变差的问题,提出了在Si0.72Ge0.28上分别外延薄硅(Si)覆盖层和锗硅(......
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