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α—SiOxNy薄膜中分立能级的光发射
采用PECVD法制备了α-SiOxNy薄膜,观察到两组分立能级的强荧光发射,一组位于紫外光波段,由三个可分辨的发射峰组织,波长分别为330、340和345nm;另一组位于红光波......
期刊
α-SiOxNy
光发射
分离能顷
薄膜
SiO_xN_y
photoluminescence
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